4月16日工作日志

fairless posted @ 2012年4月14日 20:47 in 生长工艺日志 , 651 阅读

干法刻蚀：试验片

明天早上 8:30  湿法腐蚀vg120407实验片   

         9:30  干法刻蚀 vg120407实验片

               去除衬底背后的油污，再去除光刻胶，然后切片观察条形脊的SEM

               清洁器件的外延片                

    下午       下午预约淀积SiO2薄膜

               下午清洗器件的外延片

               预约观察ＳＥＭ

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